用於半導體晶圓表面半自動輔助人員目檢機。
採用專用晶圓校準系統及360 度萬向旋轉機構,可以協助人員目檢清楚看見晶圓表面上之缺陷。
採採用專用Load Port,晶圓校準器。
可依客戶需求增加或減少機構。
