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工具顯微鏡
RPM 3020 工顯檢驗設備
對應製程:FAB/封裝前後段產品量測
對應可量測範圍: (300x200x150)mm
對應X、Y精度: (2+L/200)µm
對應市場:元件組裝加工等產業
Introduce
詳細介紹
工具顯微鏡
0.5µm光學尺解析度
Z軸為電動(可微調0.5µm)不會下滑
整機一體設計工作桌
RPIC鏡頭(可選配其他品牌鏡頭)
標準倍率為 2X,5X,10X,20X,50X/100X(Option)
最大對應至45mm工作距離
背光源與同軸光源皆為白色高亮度LED
SGS實驗室校驗
不需轉換,直接將信號傳送至軟體 可套用至EXCEL報表