半導體相關設備

3D雷射晶圓量測機

自製設備

晶圓厚度、翹曲、標記深度量測

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詳細介紹

3D雷射晶圓量測機

晶圓厚度、翹曲、標記深度量測

  • 主動式防震及抖動修正功能
  • 雙鏡頭模組
  • Nikon金相光學模組
  • Mitutoyo光學模組
  • 花崗岩基座
  • 減震氣囊
  • 龍門移動控制
  • 控制台