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詳細介紹
高速橢偏儀
單點、線、面多種膜厚測量功能
點 : 以70 fps的速率，即時量測觀察逐次變化的膜厚數據。
線 : 在5sec內以0.2mm間隔可取得100個點膜厚數據。
面 : 在1min內掃描2mmx 10mm區域測得超過10,000個點數據。
使用光子晶體陣列高密度集成偏光片製成，捨棄以往的旋轉偏光機械。
利用橢偏法測量去計算反射射線的偏振信息轉換為膜厚度和折射率，不再需要複雜的旋轉過濾器才能運作。
光子晶體陣列製成的高密度集成偏振濾光片，無需再使用旋光技術，可實現高速測量同時也省去設備維護費用。